CMOS測試和校準
![CMOS測試和校準](static/picture/2023101162095677.jpg)
标定互補金屬氧化物(wù)半導體(tǐ)(CMOS),通常将待測物(wù)放于積分(fēn)球的出口,并且需要屏蔽積分(fēn)球内燈的直接照射。積分(fēn)球開口端光源是通過多(duō)次漫反射間接提供的,從而使其有(yǒu)效區(qū)域暴露在一個均勻輻照度下。
積分(fēn)球出口的照度是經校準的,在測試過程中(zhōng),連接在積分(fēn)球上的監測探測器通過輻射計給出照度讀數。評估設備對已知均勻照度的響應,以驗證是否符合規範,或識别和糾正工(gōng)藝問題。
在這種方法中(zhōng)可(kě)以使用(yòng)不同類型的光源。積分(fēn)球可(kě)以用(yòng)調節的白熾燈照明,或者光源可(kě)以設計成模拟特定的光譜分(fēn)布,例如平均日光。積分(fēn)球也可(kě)與單色儀耦合,用(yòng)于光譜表征。
Labsphere的均勻光源積分(fēn)球和積分(fēn)球均勻光源系統可(kě)測試用(yòng)于光伏或光導應用(yòng)的半導體(tǐ)晶圓和器件的響應性和/或量子效率。